公益社団法人 日本表面真空学会



VACUUM2021真空展「規格標準報告会」

主催

日本表面真空学会、日本真空工業会

開催日

2021年12月3日(金)10:10~12:10(受付9:30~)

締切日

2021年11月30日

会場

東京ビッグサイト 西ホール内 出展者セミナー会場B
(東京都江東区有明3-11-1) 交通アクセス

プログラム

クライオポンピングと真空技術に関する国際規格の動向について
 日本表面真空学会(JVSS)と日本真空工業会(JVIA)は、「規格標準合同検討委員会」を組織して真空技術に関するJISやISO規格の提案・検討を協力して行なっています。 クライオポンプは排気速度が大きく、クリーンな真空が実現できるため、半導体製造装置や超高真空装置などで広く利用されています。今年は、学習院大学の荒川先生をお招きして、低温表面における気体分子の挙動についてご解説いただきます。また合同検討委員会の取り組みとして、審議中のクライオポンプや高安定電離真空計のISO規格の開発状況など、真空技術に関するISO・JIS制改定状況について報告します。

1.「クライオポンピング~原理は単純なのだが・・・~」
 荒川 一郎 氏(学習院大学 学長/理学部 教授)

2.「クライオポンプのISO規格開発の状況」
 谷津 貴裕 氏(住友重機械工業株式会社)

3.「高安定電離真空計のISO規格開発の状況~欧州プロジェクト(EMPIR)の成果~」
 吉田  肇 氏(国立研究開発法人産業技術総合研究所)

4.「規格標準合同検討委員会活動報告~最近のISO・JISの制改定等について~」
 吉川 康秀 氏(アズビル株式会社)

参加定員

100名

費用

無料

申込方法

VACUUM2021真空展Webページよりお申込みください。
※お申し込みには「VACUUM2021真空展」への参加登録が必要です。



日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email:

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