公益社団法人 日本表面真空学会



産業賞

年度 受賞者 受賞業績
2021年度
株式会社アルバック 圧電 MEMS デバイス向け PbZrTiO3 スパッタ量産化技術
2020年度
東京電子株式会社 大電力パルススパッタリング法(HiPIMS)用の電源を自社で開発、異常放電を抑制しながら成膜速度を向上
大陽日酸株式会社 AlN、GaN などの紫外発光デバイス用および先端デバイス用MOCVD
2019年度
株式会社旭プレシジョン KAGRA光学部品への表面黒化処理の技術開発
株式会社ミラプロ KAGRAにおける大口径長尺超高真空ダクトの製造
  • 産業賞(旧日本表面科学会)
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