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- スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
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SP部会幹事会
SP部会幹事会
SP部会の活動は、主として会員から互選された幹事会によって企画されます。
現在（2025年4月）の幹事会メンバーは以下の通りです。
- 部会長 中野 武雄（成蹊大学）
- 副部会長 清水 徹英（東京都立大学）
- 幹事長 黒岩 雅英（東京電子）
- 副幹事長 中川原 修（I-PEX Piezo Solutions）
- 幹事 赤松 泰彦（アルバック）
- 入澤 寿和（キヤノンアネルバ）
- 小寺 恭介（昭和真空）
- 駒垣幸次郎（村田製作所）
- 實方 真臣（東京工芸大学）
- 賈 軍軍（早稲田大学）
- 菅田 博雅（シンクロン）
- 並木 恵一（オプトラン）
- 村岡 祐治（岡山大学）
- 村田 博雅（産業技術総合研究所）
- 本村 大成（産業技術総合研究所）
日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL：03-3812-0266 FAX：03-3812-2897 Email：