真空と表面の匠
| 受賞年 | 受賞者 | 所属 | 受賞業績 |
|---|---|---|---|
| 2025年 | 該当なし | ||
| 2024年 | 関口 敦 | 工学院大学 | CVD成膜装置の開発とCVD技術普及への貢献 |
| 2023年 | 大林哲郎 | （株）大阪真空機器製作所 | 希薄気体力学を用いた真空ポンプの開発 |
| 2022年 | 稲吉さかえ | （株）アルバック | 各種真空材料の表面処理方法の開発とガス放出特性評価 |
| 2021年 | 該当なし | ||
| 2020年 | 佐藤弘悦 | 佐藤真空（株） | 真空機器による先端科学技術への永年にわたる貢献 |
| 大岩 烈 | シエンタ オミクロン（株） | 表面分析機器の普及と啓発に対する永年にわたる貢献 | |
| 2019年 | 井口昌司 | （株）大阪真空機器製作所 | ターボ分子ポンプとねじ溝ポンプを組み合わせた複合分子ポンプの開発と実用化に対する貢献 |
日本表面真空学会 事務局
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