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2025年度SP部会賞のご報告

SP部会では、例年「SP部会賞」の候補業績を募集し、審査を経て授賞業績を決定しています。「SP部会賞」は、平成17年度に新設したスパッタリングおよびプラズマプロセス技術及びその関連分野の発展に寄与する顕著な業績を表彰するものです。

2025年度のSP部会賞は、審査委員会による推薦を受け、幹事会で審議した結果、以下の業績に贈呈することと決定しました。

表彰対象者：
氏　名：齋藤 孝之、花咲 武典、後藤 辰弥、田名部 正治
所　属：キヤノンアネルバ株式会社
業績名：EC7430 誘電体膜成膜用スパッタリング装置の開発・製品化

審査報告は以下のPDFをご覧ください。
SP-award_2025report.pdf

贈呈式ならびに受賞講演は、2026年度の第1回定例研究会にて実施する予定です。

過去の受賞業績は以下からご覧ください。
https://www.jvss.jp/_files/SPprize_AchievementList.pdf

2026年度のSP部会賞は秋ごろに募集のご案内をする予定ですので、どうぞよろしくお願いいたします。

中野 武雄（成蹊大学、日本表面真空学会SP部会 部会長）