対象:会員および一般
速報発信者;神谷潤一郎(原子力機構、真空と薄膜の基本技術講座担当)
VACUUM2026真空展併催
「真空と薄膜の基本技術講座」のご案内
現場で活きる!真空工学と薄膜作製の基礎から応用まで学べる講座
未来のデバイスは見えない"真空"の中で創られます。超高真空からスパッタ・蒸着まで、第一線の講師が実プロセスの要点や"真空の質"の重要性をわかりやすく解説します。各講座は独立しており、新入社員から中堅まで目的に応じて選べる集中講座です。
●11月19日(木) 12:30-14:30
「超高真空技術」
山川 紘一郎(日本原子力研究開発機構)
●11月19日(木) 15:00-17:00
「半導体・電子デバイス製造における超薄膜のスパッタ成膜技術」
恒川 孝二(キヤノンアネルバ株式会社)
●11月20日(金) 12:30-14:30
「真空蒸着法、有機EL製造技術 ~真空の"質":その重要性と影響~」
藤本 弘(有機光エレクトロニクス実用化開発センター)
●11月20日(金) 15:00-17:00
「反応性スパッタによる薄膜堆積法の基礎と機能性酸化膜作製」
沖村 邦雄(東海大学)
会 場:東京ビッグサイト 東ホール2階 東2-商談室(4)
定 員:各講座とも30名
受講料:一般6,000円/講座、学生1,500円/講座(資料代・消費税込)
申込締切:2026年11月18日(水)
お申し込みいただいた講座と同数の別講座を無料で受講できる「プラスワン・キャンペーン」を実施します。
講座内容、申込方法等の詳細につきましては下記Webページをご覧ください。
https://www.jvss.jp/ja/activities/26/detail/00043.html
問合せ先:日本表面真空学会 事務局 E-mail: office@jvss.jp
<本メールは日本表面真空学会より会員の皆様宛に配信しております。>
日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email: