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学会の活動
真空展
VACUUM2026真空展「真空と薄膜の基本技術講座」

VACUUM2026真空展「真空と薄膜の基本技術講座」

主催

日本表面真空学会

開催日

2026年11月19日（木）、20日（金）12:30～14:30、15:00～17:00

締切日

2026年11月18日

会場

東京ビッグサイト東ホール2階東2-商談室(4)
（東京都江東区有明3-11-1）

プログラム

現場で活きる！真空工学と薄膜作製の基礎から応用まで学べる講座
未来のデバイスは見えない“真空”の中で創られます。超高真空からスパッタ・蒸着まで、第一線の講師が実プロセスの要点や“真空の質”の重要性をわかりやすく解説します。各講座は独立しており、新入社員から中堅まで目的に応じて選べる集中講座です。

◆11月19日（木）12:30～14:30（受付12:00～）
「超高真空技術」
山川紘一郎（日本原子力研究開発機構先端基礎研究センター研究副主幹）

◆11月19日（木）15:00～17:00（受付14:30～）
「半導体・電子デバイス製造における超薄膜のスパッタ成膜技術」
恒川孝二（キヤノンアネルバ株式会社取締役最高技術責任者）

◆11月20日（金）12:30～14:30（受付12:00～）
「真空蒸着法、有機EL製造技術～真空の”質”：その重要性と影響～」
藤本　弘（福岡県産業・科学技術振興財団有機光エレクトロニクス実用化開発センター（i³-opera）副センター長兼研究室長、九州大学客員教授）

◆11月20日（金）15:00～17:00（受付14:30～）
「反応性スパッタによる薄膜堆積法の基礎と機能性酸化膜作製」
沖村邦雄（東海大学工学部電気電子工学科教授）

※上記講義時間には、休憩・質疑時間を含みます。

参加定員

各講座とも30名（定員になり次第締切とさせていただきます。）

費用

一般 6,000円、学生 1,500円／講座（資料代・消費税込）

資料
講義用スライドを1ページあたり4スライドでモノクロ印刷したもの（A4サイズ）

プラスワン・キャンペーン
事前Web申込限定で「プラスワン・キャンペーン」を実施します。
お申し込みいただいた講座と同数の別講座を無料で受講できます。
プラスワン・キャンペーンの無料受講のお申し込みは、当日、該当講座の受付デスクにお申し出ください。
ただし、定員超えで空席がない場合は受講できませんのでご容赦ください。