公益社団法人 日本表面真空学会



スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第182回定例研究会

主催

日本表面真空学会

開催日

2025年5月29日(木)13:30~17:30(受付開始13:00~)

締切日

2025年05月16日

会場

ヒカリホールディングス 2階 会議室B
(〒700-0904 岡山県岡山市北区柳町1丁目4-8)

プログラム

レーザーは物質科学の様々な分野で活用されています。例えば、レーザーアニールという技術としてシリコンウェーハの高品質化、機能性物質を創製する方法、また、表面処理や微細加工のために使用されています。省エネ・環境負荷軽減が求められる現在、効率的なレーザー技術の利用は益々増えると予想されます。本研究会では、第一線で活躍されている研究者に、レーザーと物質科学に関する研究について、プロセスや応用例を中心にご講演していただきます。研究会を通してレーザーと物質科学の現状を把握するとともに、今後のレーザー活用について展望します。また、これにあわせて今年度もSP部会賞を受賞する運びとなりました。本研究会に先立ち、授賞式および受賞記念講演を行います。多くの皆様のご参加をお待ち申し上げます。

テーマ
 レーザーと物質科学:プロセスと応用

プログラム (敬称略)
13:30~13:35 開会の挨拶
 日本表面真空学会SP部会 部会長 中野 武雄(成蹊大学)

2024年度SP部会賞授賞式
13:35~13:45 審査経緯の報告
 日本表面真空学会SP部会 副部長 清水 徹英(東京都立大学)

受 賞 者:中川原 修、服部 梓(I-PEX Piezo Solutions株式会社)
受賞業績:多層バッファーを用いたSi基板上での圧電単結晶膜の実用化およびエピタキシャル成長メカニズムの解明

13:45~14:15
SP部会賞受賞記念講演
 服部  梓(I-PEX Piezo Solutions株式会社)

14:15~14:30 休 憩

講演 ※講演時間40分(質疑応答5分間含む)
14:30~15:10
「パワーレーザーを用いた高エネルギー密度物質探査の現状と展望」
 兒玉 了祐(大阪大学レーザー科学研究所)

15:10~15:50
「金属・半導体のレーザー微細加工とその現象観察」
 中村 大輔(九州大学システム情報科学研究院)

15:50~16:05 休 憩

16:05~16:45
「短パルスレーザー加工の波長依存性」
 藤田 雅之(レーザー技術総合研究所)

16:45~17:25
「軟X線レーザーによるアブレーション研究」
 石野 雅彦(量子科学技術研究機構 関西光量子科学研究所)

17:25~17:30 閉会の挨拶
 日本表面真空学会SP部会 副部会長 清水 徹英(東京都立大学)

18:00~20:00 懇親会

参加定員

40名

費用

SP部会員:無料
日本表面真空学会個人正会員:23,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方:18,000円
教育機関、公的機関に属する方:12,000円
学生: 1,000円
一般:28,000円
(資料代・消費税を含む)

懇親会費: 5,000円(現地にて現金でお支払いください。)

*日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員の企業名はこちらをご確認ください。

申込方法

こちらの申込フォームからお申込みください。
※お申込み完了後、受付完了メールが自動返信されます。
 受付完了メールが届かない場合は、office@jvss.jp へご連絡ください。

申込締切 2025年5月16日(金)

支払方法

銀行振込
*申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りします。
(銀行振込のため領収書は発行いたしません。ご了承ください。)

*「参加者の都合による取消し及び不参加」の場合、参加費の払い戻しはいたしません。ただし、参加者の変更は差し支えありません。

備考

問合せ先
公益社団法人日本表面真空学会 事務局
E-mail: office@jvss.jp  TEL 03-3812-0266

本件担当
日本表面真空学会SP部会 本村 大成(産業技術総合研究所)、村岡 祐治(岡山大学)



日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email:

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