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[ml]【締切間近】次世代真空エレクトロニクス技術部会（FVE部会）第5回定例研究会のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学、日本表面真空学会FVE部会長）

次世代真空エレクトロニクス技術部会（FVE部会）
第5回定例研究会
真空エレクトロニクスの応用展開「電子・イオン検出器とその応用」

電子顕微鏡、表面分析装置、質量分析装置などの各種分析装置では、電子・イオンなどの信号を捉える各種検出器が、装置性能を左右する重要な要素です。これまで本研究会では電子線源など"プローブ側"の話題が中心でしたが、今回は視点を変え、"検出側"にスポットを当てた企画を用意しました。電子・イオン検出器には複数の方式があり、装置の狙いや特性に応じて使い分けられています。当会では、代表的な検出方式の概要に加え、実際の装置でどのように活用されているのかについてもご紹介いただきます。本研究会が、電子・イオン検出器の理解を深めるとともに、今後の活用・開発に向けた有意義な議論の場となれば幸いです。

開催日時：2026年3月5日（木）13:30～16:30
開催場所：機械振興会館 地下3階 B3-1会議室 およびオンライン
　　　　（〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8）

講演プログラム：
13:30～13:35　開会の挨拶
　日本表面真空学会FVE部会 部会長（京都大学）後藤 康仁
13:35～14:25「電子・イオン検出器の概要とその動向」
　（浜松ホトニクス）西村 一
14:25～15:15「SEMの信号電子検出器と像形成」
　（産業技術総合研究所）熊谷 和博
15:15～15:35　休 憩
15:35～16:25 「シンチレーター応答時間に関する研究(仮)」
　（日立ハイテク）今村 伸
16:25～16:30　閉会の挨拶
　日本表面真空学会FVE部会 部会長（京都大学）後藤 康仁
17:00～19:00　懇親会（有料）

参加費（資料代・消費税を含む）
　FVE部会員（法人部会員については定められた人数の範囲内）：無料
　日本表面真空学会個人正会員：18,000円
　日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
　教育機関、公的機関に属する方：12,000円
　学生： 5,000円
　一般：23,000円

参加定員：対面 25名、オンライン 50名
申込締切：2026年2月19日（木）
申込方法：ホームページよりお申込みください。
　https://www.jvss.jp/ja/events/detail/1107.html

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会 事務局
　　　　　E-mail: office＠jvss.jp

＜本メールは日本表面真空学会より会員の皆様宛に配信しております。＞