日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会

2025年9月4日（木）13:30～16:40（受付開始13:00～）

機械振興会館 地下3階 B3-6号室
（〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8）

イオンソースは産業界において、イオン注入やエッチング、IAD(Ion Assisted Deposition)や分析機器での利用など幅広い用途で必要不可欠なデバイスとなっています。イオンの発生には多くの場合プラズマが用いられており、プラズマの生成方法やイオンの引き出し方式、制御可能な電流値、エネルギー範囲などに応じて様々な種類がありますが、そのうちのいくつかは人工衛星の推進機構として開発され、産業応用されてきました。本研究会では推進機構としてのイオンソースに焦点を当て、当分野で最先端のご研究を行われている先生方をお招きしました。様々な要素の集大成であるイオンソースの研究から新たな知見が得られることを期待しております。多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

テーマ
宇宙推進機に学ぶイオンソースの最前線

プログラム ※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
13:30～13:35 開会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会 部会長　中野 武雄（成蹊大学）

13:35～14:15
「宇宙機用プラズマ推進機に関するJAXAの研究開発活動概要」
　張 科寅（宇宙航空研究開発機構）

14:15～14:55
「電気推進ロケットにおける新推進剤の研究について」
　各務 聡（東京都立大学）

14:55～15:15 休 憩

15:15～15:55
「小型プラズマ源の高性能化」
　堀澤 秀之（東海大学）

15:55～16:35
「エレクトロスプレーイオン源を利用した宇宙推進機」
　鷹尾 祥典（横浜国立大学）

16:35～16:40 閉会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会 副部会長　清水 徹英（東京都立大学）

40名

SP部会員：無料
日本表面真空学会個人正会員：23,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
教育機関、公的機関に属する方：12,000円
学生： 1,000円
一般：28,000円
（資料代・消費税を含む）

＊日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員の企業名はこちらをご確認ください。

こちらの申込フォームからお申込みください。
※お申込み完了後、受付完了メールが自動返信されます。
　受付完了メールが届かない場合は、office@jvss.jp へご連絡ください。

申込締切　2025年8月21日（木）

銀行振込
＊申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りします。
（銀行振込のため領収書は発行いたしません。ご了承ください。）

＊「参加者の都合による取消し及び不参加」の場合、参加費の払い戻しはいたしません。
　ただし、参加者の変更は差し支えありません。

問合せ先
公益社団法人日本表面真空学会 事務局
E-mail: office@jvss.jp　　TEL 03-3812-0266

本件担当
日本表面真空学会 SP部会　小寺 恭介（昭和真空）、村田 博雅（産業技術総合研究所）