2025年度真空技術演習講座

主催

日本表面真空学会

開催日

2025年10月31日（金）9:10～16:50

締切日

2025年10月09日

会場

機械振興会館地下3階 B3-9号室
（〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8）

プログラム

日本表面真空学会では、演習を通して真空技術の基礎を理解し、初級から中級レベルの実力を養成することを目的として「真空技術演習講座」を2015年度より開催しております。
真空技術演習講座は、受講生が真空工学の基礎となる事項を適確に理解することに重点を置き、真空科学技術を専門とする講師が作成したオリジナルの問題をベースとした演習で構成されております。受講生一人一人が問題を解くことにより真空技術の基礎を理解し、真に応用できる能力を高めることを意図しております。真空工学の基礎知識を確実なものとし、応用や実用問題にも対応できる力を備えた技術者・研究者を育成する絶好の機会と存じますので、是非、受講を検討くださいますようご案内申し上げます。

講　師
　松田七美男（東京電機大学）

スケジュール
　09:10～10:40　演習1：気体分子運動論・真空と表面・希薄気体の流れ（1）
　10:40～10:50　休憩
　10:50～12:20　演習2：気体分子運動論入門・真空と表面・希薄気体の流れ（2）
　12:20～13:00　昼食（各自でお済ませください。）
　13:00～14:00　演習3：真空計測・真空ポンプと排気系・真空用材料とガス放出
　14:00～14:10　休憩
　14:10～15:10　演習4：真空部品と可動機構・真空システム・成膜とプラズマの基礎
　15:10～15:20　休憩
　15:20～16:20　達成度試験
　16:20～16:50　自己採点、質疑応答

演習の概要
演習1・2（気体分子運動論・真空と表面・希薄気体の流れ）
　真空工学全体の基礎である希薄気体の性質、気体分子と真空容器表面の相互作用、希薄気体の流れについて理解することを目的とする。圧力の定義や単位系、気体分子の速度分布則、平均自由行程、気体分子の固体表面への吸着、熱脱離、余弦則、粘性流、分子流、コンダクタンスなどの考え方について、演習を通して学ぶ。

演習3（真空計測・真空ポンプと排気系・真空用材料とガス放出）
　真空計測・真空ポンプに関わる基礎的な知識、種々の真空計・真空ポンプに関する原理とその特徴、使用上の注意点などについて、演習を通して学ぶ。また、真空装置にて使用される金属、ガラス、セラミックス、ポリマー（ゴムやプラスチック）などの材料の機械的、物理的、化学的特性、ガス放出特性などについて、演習を通して学ぶ。

演習4（真空部品と可動機構・真空システム・成膜とプラズマの基礎）
　真空装置にて使用される真空部品と可動機構、真空システム、成膜とプラズマの基礎について、演習を通して学ぶ。

達成度テスト
　1時間で20問の問題を解き、自己採点により習熟度を確認する。

その他
　演習問題は2週間前に郵送します。当日の演習時間は限られておりますので、予習して受講されることを推奨します。
演習では関数電卓を使用します。あらかじめ使用法を習得した上で、関数電卓を持参いただきますようお願いします。
ノートPCの関数電卓機能をお使いいただいても構いませんが、電源は用意しておりません。バッテリーでのご使用をお願いいたします。