技術賞

受賞年度	受賞者
第24回平成30年度（2018年度）	桜井健次^1,2、蒋金星^2,1（¹(国)物質・材料研究機構、²筑波大学） X線反射投影を用いた埋もれた薄膜界面の可視化
第23回平成29年度（2017年度）	栗田一成、門野武、奥山亮輔、廣瀬諒、柾田亜由美、奥田秀彦、古賀祥泰（（株）SUMCO）クラスターイオン注入によるCMOS センサのゲッタリング技術
第22回平成28年度（2016年度）	針山孝彦、高久康春、鈴木浩司（浜松医科大学）、石井大佑（名古屋工業大学）、下村政嗣（千歳科学技術大学）ナノスーツ法による生きたままの生物のSEM内生態観察
第21回平成27年度（2015年度）	Takeshi Otsuka, Shin-ichi Kitamura, Felix Timischl, Masato Kudo, （共著；Motohiro Nakamura, Ken-ichi Yamashita, Kazuhiro Honda）（JEOL Ltd. 　**JEOL Technics Ltd.） SEM Images Obtained with an Energy and Takeoff Angle Selective Detector
第20回平成26年度（2014年度）	沢田英敬、佐々木健夫、奥西栄治（日本電子（株））、末永和知（産業技術総合研究所）原子分解能収差補正STEMと低加速への発展
第19回平成25年度（2013年度）	久保敦（筑波大学大学院数理物質系物理学域）、Hrvoje PETEK（Department of Physics and Astronomy, University of Pittsburgh）フェムト秒レーザー励起光電子顕微鏡法による表面プラズモン波の可視化
第18回平成24年度（2012年度）	桑畑周司、熊澤栄作、大山龍一郎（東海大学工学部電気電子工学科）、伊藤敦（東海大学工学部エネルギー工学科）大気圧アルゴン・プラズマジェットを用いた太陽菌の殺菌
第17回平成23年度（2011年度）	奥田太一（東京大学物性研究所）高効率スピン分解光電子分光装置の開発と表面研究への応用
第16回平成22年度（2010年度）	有本聡、蔭山仁志、佐藤雄一、幕田悟史、津田哲哉、桑畑進（大阪大学大学院工学研究科応用化学専攻、JST）、鳥本司（名古屋大学大学院工学研究科結晶材料工学専攻、JST）種々の走査型電子顕微鏡を用いたイオン液体中での電極表面その場観察技術
第15回平成21年度（2009年度）	中西彊（名古屋大学大学院理学研究科素粒子宇宙物理学専攻）高スピン偏極度／高輝度電子ビーム源
第14回平成20年度（2008年度）	臼田宏治（（株）東芝研究開発センターLSI基礎技術ラボラトリー）、木村建次郎、山田啓文（京都大学大学院工学研究科）、小林圭（京都大学国際融合創造センター）走査型容量顕微鏡によるMOSFET動作時の不純物分布計測
第13回平成19年度（2007年度）	木村隆、福島整、田沼繁夫（物質・材料研究機構分析ステーション）、田澤豊彦、塚本一徳（日本電子（株）電子光学機器本部）電子線励起超軟Ⅹ線分光分析装置の開発
第13回平成19年度（2007年度）	熊谷慎也、山下一郎（松下電器産業（株）先端技術研究所）生体分子を用いた新しいナノ構造作製方法－バイオナノプロセス－
第12回平成18年度（2006年度）	該当なし
第11回平成17年度（2005年度）	該当なし
第10回平成16年度（2004年度）	河裾厚男、石本貴幸、深谷有喜、林和彦（日本原子力研究所先端基礎研究センター）、一宮彪彦（原研、名古屋大学工学研究科） Top Most Surface Studies by Total Reflection Positron Diffraction
第9回平成15年度（2003年度）	石橋孝章、大西洋（神奈川科学技術アカデミ－）可視プローブ波長可変性を持つマルチプレックス赤外可視和周波発生分光装置の開発
第8回平成14年度（2002年度）	木村健二、中嶋薫（京都大学大学院工学研究科機械物理工学専攻）高分解能RBS装置の開発
第7回平成13年度（2001年度）	該当なし
第6回平成12年度（2000年度）	中嶋健、Ruggero MICHELETTO 、三井圭太、礒島隆史、原正彦、和田達夫、雀部博之、Wolfgang KNOLL（理化学研究所国際フロンティア研究システム）近接場光学顕微鏡/走査型トンネル顕微鏡複合装置の開発
第6回平成12年度（2000年度）	冨安文武乃進、逆瀬川聡、鳥羽貴光、尾張真則、二瓶好正（東京大学生産技術研究所）サブミクロンSIMS 法におけるshave-off 深さ方向分解能の向上
第5回平成11年度（1999年度）	渡部徹、岸田悟、石原顕永、河相宰昭、徳高平蔵（鳥取大学工学部電子工学科）、福島整（無機材質研究所）ニューラルネットワークの化学分析への適用
第4回平成10年度（1998年度）	末岡和久、森林　茂、棚橋研二、武笠幸一（北海道大学工学研究科） FIBによるGaAs-STM探針の作製
第3回平成9年度（1997年度）	後藤敬典、竹市嘉紀（名古屋工業大学生産システム工学科）標準CMA分光器で得た絶対オージェスペクトル
第2回平成8年度（1996年度）	森下真也（（株）豊田中央研究所）半導体超微粒子による光利用部分メッキ
第1回平成7年度（1995年度）	渡部一史、杉田利男、西川英一（東京理科大学工学部電気工学科）磁石内蔵型マイクロ・スパッタリング装置（2）－試作とその応用例

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日本表面真空学会　事務局
〒113-0033　東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL：03-3812-0266　FAX：03-3812-2897　Email：

受賞年度	受賞者
第24回平成30年度（2018年度）	桜井健次^1,2、蒋金星^2,1（¹(国)物質・材料研究機構、²筑波大学） X線反射投影を用いた埋もれた薄膜界面の可視化
第23回平成29年度（2017年度）	栗田一成、門野武、奥山亮輔、廣瀬諒、柾田亜由美、奥田秀彦、古賀祥泰（（株）SUMCO）クラスターイオン注入によるCMOS センサのゲッタリング技術
第22回平成28年度（2016年度）	針山孝彦、高久康春、鈴木浩司（浜松医科大学）、石井大佑（名古屋工業大学）、下村政嗣（千歳科学技術大学）ナノスーツ法による生きたままの生物のSEM内生態観察
第21回平成27年度（2015年度）	Takeshi Otsuka, Shin-ichi Kitamura, Felix Timischl, Masato Kudo, （共著；Motohiro Nakamura, Ken-ichi Yamashita, Kazuhiro Honda）（JEOL Ltd. 　**JEOL Technics Ltd.） SEM Images Obtained with an Energy and Takeoff Angle Selective Detector
第20回平成26年度（2014年度）	沢田英敬、佐々木健夫、奥西栄治（日本電子（株））、末永和知（産業技術総合研究所）原子分解能収差補正STEMと低加速への発展
第19回平成25年度（2013年度）	久保敦（筑波大学大学院数理物質系物理学域）、Hrvoje PETEK（Department of Physics and Astronomy, University of Pittsburgh）フェムト秒レーザー励起光電子顕微鏡法による表面プラズモン波の可視化
第18回平成24年度（2012年度）	桑畑周司、熊澤栄作、大山龍一郎（東海大学工学部電気電子工学科）、伊藤敦（東海大学工学部エネルギー工学科）大気圧アルゴン・プラズマジェットを用いた太陽菌の殺菌
第17回平成23年度（2011年度）	奥田太一（東京大学物性研究所）高効率スピン分解光電子分光装置の開発と表面研究への応用
第16回平成22年度（2010年度）	有本聡、蔭山仁志、佐藤雄一、幕田悟史、津田哲哉、桑畑進（大阪大学大学院工学研究科応用化学専攻、JST）、鳥本司（名古屋大学大学院工学研究科結晶材料工学専攻、JST）種々の走査型電子顕微鏡を用いたイオン液体中での電極表面その場観察技術
第15回平成21年度（2009年度）	中西彊（名古屋大学大学院理学研究科素粒子宇宙物理学専攻）高スピン偏極度／高輝度電子ビーム源
第14回平成20年度（2008年度）	臼田宏治（（株）東芝研究開発センターLSI基礎技術ラボラトリー）、木村建次郎、山田啓文（京都大学大学院工学研究科）、小林圭（京都大学国際融合創造センター）走査型容量顕微鏡によるMOSFET動作時の不純物分布計測
第13回平成19年度（2007年度）	木村隆、福島整、田沼繁夫（物質・材料研究機構分析ステーション）、田澤豊彦、塚本一徳（日本電子（株）電子光学機器本部）電子線励起超軟Ⅹ線分光分析装置の開発
第13回平成19年度（2007年度）	熊谷慎也、山下一郎（松下電器産業（株）先端技術研究所）生体分子を用いた新しいナノ構造作製方法－バイオナノプロセス－
第12回平成18年度（2006年度）	該当なし
第11回平成17年度（2005年度）	該当なし
第10回平成16年度（2004年度）	河裾厚男、石本貴幸、深谷有喜、林和彦（日本原子力研究所先端基礎研究センター）、一宮彪彦（原研、名古屋大学工学研究科） Top Most Surface Studies by Total Reflection Positron Diffraction
第9回平成15年度（2003年度）	石橋孝章、大西洋（神奈川科学技術アカデミ－）可視プローブ波長可変性を持つマルチプレックス赤外可視和周波発生分光装置の開発
第8回平成14年度（2002年度）	木村健二、中嶋薫（京都大学大学院工学研究科機械物理工学専攻）高分解能RBS装置の開発
第7回平成13年度（2001年度）	該当なし
第6回平成12年度（2000年度）	中嶋健、Ruggero MICHELETTO 、三井圭太、礒島隆史、原正彦、和田達夫、雀部博之、Wolfgang KNOLL（理化学研究所国際フロンティア研究システム）近接場光学顕微鏡/走査型トンネル顕微鏡複合装置の開発
第6回平成12年度（2000年度）	冨安文武乃進、逆瀬川聡、鳥羽貴光、尾張真則、二瓶好正（東京大学生産技術研究所）サブミクロンSIMS 法におけるshave-off 深さ方向分解能の向上
第5回平成11年度（1999年度）	渡部徹、岸田悟、石原顕永、河相宰昭、徳高平蔵（鳥取大学工学部電子工学科）、福島整（無機材質研究所）ニューラルネットワークの化学分析への適用
第4回平成10年度（1998年度）	末岡和久、森林　茂、棚橋研二、武笠幸一（北海道大学工学研究科） FIBによるGaAs-STM探針の作製
第3回平成9年度（1997年度）	後藤敬典、竹市嘉紀（名古屋工業大学生産システム工学科）標準CMA分光器で得た絶対オージェスペクトル
第2回平成8年度（1996年度）	森下真也（（株）豊田中央研究所）半導体超微粒子による光利用部分メッキ
第1回平成7年度（1995年度）	渡部一史、杉田利男、西川英一（東京理科大学工学部電気工学科）磁石内蔵型マイクロ・スパッタリング装置（2）－試作とその応用例

表面関連

真空関連

技術賞