表面分析実践講座2025　実践! 最新走査電子顕微鏡実習実際の作業を通して身につける最新技術

主催

日本表面真空学会

開催日

2025年8月4日（月）、5日（火）

締切日

2025年07月17日

会場

日本電子株式会社開発館
〒196-8558　東京都昭島市武蔵野3-1-2（TEL 042-542-1111）
JR青梅線「中神」駅　徒歩20分

プログラム

最近の走査電子顕微鏡は、形状観察はもちろんのこと、各種検出器を駆使した多岐にわたる分析が可能となっています。そこで本講座では、SEM経験者を想定し、基礎と応用に関する講習と共に、専門家の指導の下で最新の実機を用いた実習に参加してもらい、体験を通じた原理の理解の深耕と、応用力の効くオペレーション技術を習得して頂きます。実習では、各種検出器の使い方から低加速電圧観察と分析、さらには試料断面の作製などを対象とし、実践を通じて習得することを目的としています。

2025年8月4日（月）
13:00-13:40	｢走査電子顕微鏡の基礎｣	作田裕介（日本電子株式会社）
13:40-14:20	｢高分解能走査電子顕微鏡でみるナノ多孔質材料｣	遠藤　明（産業技術総合研究所）
14:20-14:40	休憩
14:40-15:20	｢走査電子顕微鏡用鏡筒内検出器の活用｣	朝比奈俊輔（日本電子株式会社）
15:20-15:50	｢特性X線を用いた元素分析EDS/WDSの基礎とスペクトルデータから得られる情報｣	森田博文（オックスフォード・インストゥルメンツ）
15:50-16:00	休憩
16:00-17:00	特別講義｢SEMを用いた軟X線発光分光による化学結合状態分析｣	寺内正己（東北大学）
2025年8月5日（火）
9:30-12:30	装置実習（W-SEMもしくはFE-SEM）
12:30-13:30	昼食休憩
13:30-16:30	装置実習（FE-SEMもしくはW-SEM）
16:30-17:00	総合討論

実習内容
８月５日（火）のSEM実習は、専門家の指導のもと各班最大3名に分かれLV-SEMおよびFE-SEMを実際に操作して頂きます。
LV-SEM（低真空SEM）：真空度による違い、無蒸着・蒸着の差、元素分析の留意点
FE-SEM (高分解能SEM)：低加速電圧、高分解能観察、各検出器における像解釈

※参加者の試料持参もお受けしております。実践講座当日に観察されたい試料がある場合は、お申し込み時に試料情報に関するアンケート欄に記入してください。

参加定員

12名（定員に達し次第締め切ります）

費用

申　込　資　格	受講料
日本表面真空学会個人正会員	55,000円
日本表面真空学会法人正会員	55,000円
日本表面真空学会維持会員	55,000円
日本表面真空学会賛助会員	60,000円
協賛学協会会員	65,000円
その他	75,000円