表面分析実践講座2023　実践! 最新走査電子顕微鏡実習実際の作業を通して身につける最新技術

主催

日本表面真空学会

開催日

2023年8月9日（水）、10日（木）

締切日

2023年07月13日

会場

日本電子株式会社　開発館
〒190-0012　東京都昭島市武蔵野3－1－2　（042-542-1111）
JR青梅線「中神」駅　徒歩15分
https://www.jeol.co.jp

プログラム

最近の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）技術の発展はめざましく、形状観察はもちろんのこと、各種検出器を駆使した多岐にわたる分析が可能となっています。そこで本講座では、ＳＥＭ経験者を想定し、基礎と応用に関する講習の後、専門家の指導の下で最新の実機を用いた実習に参加してもらい、体験を通じた原理の理解の深耕と、これによる応用力の効くオペレーション技術を習得して頂きます。実習では、各種検出器の使い方から低加速電圧観察と分析、さらには試料断面の作製などを対象とし、実践を通じて習得することを目的としています。

「SEMの応用実習講座」
2023年8月9日（水）午後：講習13:30-17:00
13:30-14:30	高分解能走査電子顕微鏡でみるナノ多孔質材料	遠藤明（産業技術総合研究所）
14:30-15:00	SEMの基本原理	淺野奈津子（日本電子株式会社）
15:00-15:15	休憩
15:15-15:45	電磁場重畳型SEMの検出器	朝比奈俊輔（日本電子株式会社）
15:45-16:15	低加速電子を用いる高分解能測定	髙見誠一（名古屋大学）
16:15-16:45	Arイオンビームを用いたSEM用の断面試料作製	應本玉恵（日本電子株式会社）
16:45-17:00	質疑応答
2023年8月10日（木）　実習 9:30-17:00　講師：日本電子ＳＥＭ応用技術者
9:30-12:30	装置実習（W-SEMもしくはFE-SEM）
12:30-13:30	昼食休憩（お弁当、お飲み物をご用意しております）
13:30-16:30	装置実習（FE-SEMもしくはW-SEM）
16:30-17:00	総合討論

実習内容
実習は専門家の指導のもと各班最大3名に分かれW-SEMおよびFE-SEMを実際に操作して頂きます。
W-SEM（低真空SEM）：低真空高真空（無蒸着・蒸着の差）・元素分析
FE-SEM (高分解能SEM)：低加速電圧・高分解能観察・各検出器における像解釈

※参加者の試料持参もお受けしております。このため、当日に観察されたい試料のある場合は、事前に試料情報に関するアンケートを提出していただきます。アンケートは参加申し込み時、もしくは後日、提出をお願いいたします。

参加定員

18名（定員に達し次第締め切ります）

費用

申込資格	受講料
日本表面真空学会個人正会員	50,000円
日本表面真空学会法人正会員	50,000円
日本表面真空学会維持会員	50,000円
日本表面真空学会賛助会員	55,000円
協賛学協会会員	60,000円
その他	70,000円