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[ml] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）2025年度技術講習会のご案内

[ml] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）2025年度技術講習会のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；中野武雄（成蹊大学、日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
2025年度技術講習会

物質の第4状態のプラズマについて、初学者が学びやすい土壌を作るための基礎的な内容について学びます。
プラズマとはどのようなもので、どのようにつくるのか、世の中でどのように利用されているのかなどについて、学びを深めることができる内容となっています。

日　時：2025年11月6日（木）10:30～16:30

会　場：機械振興会館 6階 6D-4号室
　　　（〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8）

講　師：本村　大成（SP部会幹事、産業技術総合研究所センシング技術研究部門主任研究員）

題　目：プラズマ基礎、生成法、計測およびプロセス応用

講義内容
1. プラズマ基礎
　1.1 プラズマとは何でどのようにつくるのか？
　1.2 プラズマ今昔
　1.3 プラズマの主要パラメータと特徴
　1.4 プラズマの取り扱い：軌道運動論、電磁流体力学、気体運動論、プラズマ振動と波動など
　1.5 プラズマ-壁相互作用
2. プラズマ生成法
　2.1 熱平衡プラズマと非熱平衡プラズマ
　2.2 容量結合プラズマと誘導結合プラズマ
　2.3 その他のプラズマ生成法
3. プラズマ計測
　3.1 プローブ計測
　3.2 マイクロ波計測
　3.3 分光計測
　3.4 レーザー計測
4. プロセス応用
　4.1 スパッタリング
　4.2 エッチング
　4.3 化学気相成長法：CVD
　4.4 その他のプロセス応用