日本表面真空学会

2025年12月10日（水）13:00～16:45（現地/接続受付12:30～）

機械振興会館 6階 6-66号室 およびオンライン（Zoom）
（〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8）

主題「極高真空化に向けた非蒸発ゲッターコーティングと表面処理」

基礎物理や材料、生物などの多岐にわたる科学分野に不可欠な装置として、加速器や電子顕微鏡が使われています。これらの装置のビームの安定性や特性は真空の圧力が低いほど良くなることから、10^-9 Pa、さらには10^-10 Pa以下を得るための極高真空技術の研究開発が進んでいます。その中で特に注目される技術として、真空容器の壁面を真空ポンプにする非蒸発ゲッター（Non-Evaporable Getter：NEG）コーティングと、ベーキング及び洗浄等でガス放出を低減する表面処理技術があります。今回、日本表面真空学会では、極高真空化に向けたNEGコーティングと表面処理技術の現状と今後の展開に関する知見を得るべく、関連研究の第一人者の先生方及びメーカー各社に講演いただきます。本研究例会が、極高真空化についての情報獲得や交流の場となり、今後の真空技術を発展させる機会となることを期待しております。主題の極高真空技術や関連する装置分野にご関心を持つ多くの皆様のご参加をお待ちしております。

講演プログラム
13:00～13:05　開会の挨拶
　糟谷 圭吾（真空技術部会 委員）

13:05～13:55
「NEGコーティング開発の歴史と真空特性: 排気と光刺激脱離」
　谷本 育律（高エネルギー加速器研究機構）

13:55～14:35
「Characterization and fine-tuning of NEG coating for high aspect ratio and complex vacuum chambers」
　Tomasso Porcelli（SAES Getters）

14:35～15:15
「無酸素Pd/Ti蒸着による超高真空排気技術」
　間瀬 一彦（高エネルギー加速器研究機構）

15:15～15:25　休憩

15:25～16:05
「Vacuum firingとNEGコーティングによる超高真空装置」
　神谷 潤一郎（日本原子力研究開発機構）

16:05～16:45
「極高真空対応へ向けた3D造形容器と表面処理の最適化検討」
　岡野　 誠（日本電子株式会社）

16:45～16:50　閉会の挨拶
　吉田　 肇（真空技術部会 委員）

現地90名、オンライン100名

日本表面真空学会会員　3,000円（予稿集代を含む）
協賛学会会員　　　　　3,000円（予稿集代を含む）
非会員　　　　　　　　5,000円（予稿集代を含む）
学　生　　　　　　　　無　 料（予稿集1,000円）
※上記金額には消費税を含みます。

＊日本表面真空学会会員：個人正会員、法人正会員、維持会員、賛助会員
＊日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員の企業名はこちらをご確認ください。

こちらの申込フォームからお申込みください。
※お申込み完了後、受付完了メールが自動返信されます。
　受付完了メールが届かない場合は、office@jvss.jp へご連絡ください。

申込締切　2025年11月25日（火）

銀行振込
＊申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りします。
（銀行振込のため領収書は発行いたしません。ご了承ください。）

＊「参加者の都合による取り消し及び不参加」の場合、参加費の払い戻しはいたしません。
　ただし、参加者の変更は差し支えありません。

応用物理学会、日本加速器学会、日本顕微鏡学会、日本真空工業会（申請中）

問合せ先
公益社団法人日本表面真空学会 事務局
E-mail: office@jvss.jp　　TEL 03-3812-0266

本件担当
日本表面真空学会 真空技術部会　糟谷 圭吾（日立製作所）、吉田　肇（産業技術総合研究所）