■ 巻頭言
■ 特集：プラズマが誘起する表面反応
■ 研究紹介
■ 先端追跡
■ FOCUS on e-JSSNT
■ 編集後記
プラズマは，LSI製造プロセスでのエッチングをはじめ，
様々な分野での薄膜形成や表面処理などに用いられ，現代に欠かせないツールになっています。
プラズマプロセスに対する要求はますます厳しいものになっているため，
これまで以上に正確なプラズマプロセスの制御が必要です。
そのためには，気相中のプラズマの制御だけでなく，
エッチングや膜堆積におけるプラズマが誘起する表面反応を
原子レベルで理解することが必要となっています。
さらに，材料・デバイスの分野に留まらず，
核融合の分野においても炉壁のダメージの解明には，
プラズマと炉壁の相互作用の解明が必要と認識されてきています。
今後のプラズマの研究の発展には，
プラズマ-表面相互作用を表面科学の観点からも取り組むことが重要であると思います。
そこで，本号では，
プラズマが誘起する表面反応につきまして特集を企画提案し，
編集をさせていただきました。
表面科学に取り組んでおられる会員の皆様に
プラズマの研究にも取り組んでいただけましたら幸いです。
最後になりましたが，本特集号に快く研究紹介を寄稿していただきました著者の方々に
感謝いたします。
（篠原正典）
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