
炭素イオンクラスター注入シリコンウェーハの重金属ゲッタリング効果。
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(第13回 技術賞)
電子線励起超軟X線分光分析装置の開発

木村 隆, 福島 整, 田沼繁夫, 田澤豊彦, 塚本一徳
表面科学 Vol. 27 (2006) pp. 540-545.
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■ 2002年度
(第8回 技術賞)
高分解能RBS装置の開発

木村健二,中嶋 薫
表面科学 Vol. 22 (2001) pp. 431-437.
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■ 2001年度
■ 2000年度
(第6回 技術賞)
近接場光学顕微鏡/走査型トンネル顕微鏡複合装置の開発

中嶋 健,Ruggero MICHELETTO,三井圭太,礒島隆史,原 正彦,和田達夫,雀部博之,Wolfgang KNOLL
表面科学 Vol. 20 (1999) pp. 509-515.
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