会誌「表面科学」

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 第26巻 第5号  2005年5月

Editor's Choice

poly-Si/high-κ絶縁膜/SiO2/Si 構造のシリサイド化抑制

表面科学 第26巻 第5号 (2005) p. 274
Contents


■ 巻頭言

ナノエレクトロニクス時代を迎えて

服部健雄
Vol. 26, No. 5 (2005) p. 241


■ 特集:ゲート絶縁膜/Si界面の評価

(研究紹介)
高誘電率ゲート絶縁膜技術の課題と動向

鳥海 明
Vol. 26, No. 5 (2005) p. 242



(研究紹介)
SiO2中の拡散に与えるSi/SiO2界面の影響

深津茂人,伊藤公平,植松真司,藤原 聡,影島博之,高橋庸夫,白石賢二
Vol. 26, No. 5 (2005) p. 249



(研究紹介)
極薄イットリウムアルミネート絶縁膜の物性及び電気的特性評価

杉田義博,池田和人,泉由貴子,山元隆志,橋本秀樹,井上 實,大沢正典,羽坂 智
Vol. 26, No. 5 (2005) p. 255



(研究紹介)
HfAlOx/下地膜界面反応抑制の検討

三橋理一郎,堀内 淳,川原孝明,大路 洋,高田仁志,高橋正志,鳥居和功
Vol. 26, No. 5 (2005) p. 261



(研究紹介)
低速陽電子ビームを用いたhigh-κ膜の空隙評価

上殿明良,後藤正和,樋口恵一,池内恒平,Abudul Hamid Alaa Salah,山部紀久夫,白石賢二,知京豊裕,山田啓作,北島 洋,三橋理一郎,堀内 淳,鳥居和功,有門経敏,鈴木良一,大平俊行
Vol. 26, No. 5 (2005) p. 268



(研究紹介)
ヘリウム一貫プロセスによる poly-Si/high-κ 絶縁膜/SiO2/Si 構造のシリサイド化抑制

村岡浩一
Vol. 26, No. 5 (2005) p. 274



(研究紹介)
Si(100)表面初期酸化における層状成長とPbO欠陥生成

山崎隆浩,加藤弘一,宇田 毅
Vol. 26, No. 5 (2005) p. 280


■ ポピュラーサイエンス

HDDのトライボロジー

加藤順也
Vol. 26, No. 5 (2005) p. 288


■ 先端追跡

[R-325] 異なる表面分析手法間に残された課題—Ag/Si(111)表面をめぐる最近の議論—
中原 仁
Vol. 26, No. 5 (2005) p. 292

[R-326] 金クラスターの触媒活性での電荷状態
中嶋 敦
Vol. 26, No. 5 (2005) p. 292


■ FOCUS on e-JSSNT
e-JSSNT最新論文 No. 21 

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