日本表面真空学会
2019年9月6日(金)15:00~17:00(受付14:30~)
2019年09月06日
パシフィコ横浜 展示ホール2階 会議室E204 交通アクセス
(神奈川県横浜市西区みなとみらい1-1-1)
講 師: 大工原 茂樹(元日本真空学会事務局長・元株式会社シンクロン)
講義内容: 1.真空についての基礎的な事項
2.真空蒸着装置の構成と要素
3.真空蒸着による薄膜作製時のポイントと注意点
4.真空蒸着の発展技術~イオンプレーティング、イオンビームの併用
5.各種光学薄膜について
参加のおすすめ
真空の存在は、紀元前4世紀頃にはギリシアの哲学者の間で論じられていたそうです。しかし、スパッタ現象の発見や、真空蒸着の試みが実際に行われたのは19世紀半ばでした。そして、1930年代に拡散ポンプが完成すると、まず真空蒸着が実用化され、光学反射防止膜に利用されました。その後、いろいろな成膜技術が実用化され発展しますが、現在でも、光学薄膜は真空蒸着が主要な成膜技術です。本講座では、真空を利用した薄膜作製技術や装置の基礎的な事項と、多層の積層膜を利用する光学薄膜について紹介します。
54名
一般( 会員・非会員 ) 5,000円、学生 1,000円 (テキスト代・消費税込)
※テキストは講義で使用するPPTファイルを1ページ4スライドでモノクロ印刷したものです。
申込みは終了しました。
当日、会場(会議室E204)前の受付にてお支払いください。領収書を発行します。
※なるべくお釣りのないようご準備ください。
問合せ先: 公益社団法人日本表面真空学会
TEL 03-3812-0266 FAX 03-3812-2897
E-mail: office@jvss.jp
「VACUUM2019 真空展」ホームページ: https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/
日本表面真空学会 事務局
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