公益社団法人 日本表面真空学会



VACUUM2019 真空展「薄膜の基本技術講座」LED・ワイドギャップ半導体素子製造プロセスと結晶成長の課題

主催

日本表面真空学会

開催日

2019年9月6日(金)12:30~14:30受付12:00~)

締切日

2019年09月06日

会場

パシフィコ横浜 展示ホール2階 会議室E204 交通アクセス
(神奈川県横浜市西区みなとみらい1-1-1)

プログラム

講  師: 松本  功(大陽日酸株式会社 サイエンスアドバイザー)

講義内容: 1.ワイドギャップ半導体と素子応用
                2.MOCVDおよびHVPEによる結晶成長技術
                3.電子デバイス用結晶成長の課題
       4.発光デバイス用結晶成長の課題
                 5.光・電子デバイスの生産性向上

参加のおすすめ
 昨今、青色発光ダイオード(青色LED)、高速通信素子や省エネ用大電力制御素子の観点からワイドギャップ半導体素子が注目されています。LED・ワイドギャップ半導体の結晶成長(装置・プロセス)を中心にデバイスからの要求と結晶成長プロセスの関係を解説します。特に、結晶成長に必要なMOCVD技術の特徴を真空技術の観点から解説します。

参加定員

54名

費用

一般 ( 会員・非会員 )5,000円、学生 1,000円 (テキスト代・消費税込)
※テキストは講義で使用するPPTファイルを1ページ4スライドでモノクロ印刷したものです。

申込方法

申込みは終了しました。

支払方法

当日、会場(会議室E204)前の受付にてお支払いください。領収書を発行します。
※なるべくお釣りのないようご準備ください。

備考

問合せ先: 公益社団法人日本表面真空学会
                  TEL 03-3812-0266  FAX 03-3812-2897
                  E-mail: office@jvss.jp

「VACUUM2019 真空展」ホームページ: https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/



日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email:

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