日本表面真空学会
2019年9月4日(水)12:30~14:30(受付12:00~)
2019年09月04日
パシフィコ横浜 展示ホール2階 会議室E204 交通アクセス
(神奈川県横浜市西区みなとみらい1-1-1)
講 師: 中野 武雄(成蹊大学 物質生命理工学科 教授・日本表面真空学会 教育委員会)
講義内容: 1.スパッタ法の原理
2.スパッタ粒子の輸送過程~ガスとの衝突・散乱・熱化
3.スパッタ成膜のプロセス圧力と膜組成・膜構造
4.成膜装置の到達圧力と膜の不純物
5.大電力パルススパッタによる薄膜構造制御
参加のおすすめ
本講座では、薄膜作製法のうち、真空とプラズマを用いた手法としてスパッタ法を取り上げ、基礎的・発展的な解説を行います。スパッタ法の原理について簡単に紹介した後、スパッタ粒子の輸送過程が環境圧力から受ける影響について説明し、スパッタにおけるプロセス圧力などの成膜パラメータが、成膜過程および得られる薄膜の構造・組成にどのように影響するかについて解説します。また、真空装置の到達圧力が薄膜の不純物混入に与える影響やプラズマを制御した最新の成膜手法についても、講師が実際に行ってきた研究を含めていくつか紹介します。
54名
一般( 会員・非会員 ) 5,000円、学生 1,000円 (テキスト代・消費税込)
※テキストは講義で使用するPPTファイルを1ページ4スライドでモノクロ印刷したものです。
申込みは終了しました。
当日、会場(会議室E204)前の受付にてお支払いください。領収書を発行します。
※なるべくお釣りのないようご準備ください。
問合せ先: 公益社団法人日本表面真空学会
TEL 03-3812-0266 FAX 03-3812-2897
E-mail: office@jvss.jp
真空展ホームページ: https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/
日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email: