公益社団法人 日本表面真空学会 関東支部
公益社団法人 日本表面真空学会 産学官連携委員会
開催概要
プログラム
発表件数に応じて詳細が変更になる場合があります
力検出に基づくナノスケールの革新的な計測手法の展開
菅原 康弘 先生(大阪大学大学院工学研究科)
概要ナノスケールの計測手法の発展は、物質表面のナノスケールの物性評価と解析に関して重要な知見を提供する。ここでは、ナノスケールの革新的な計測手法の最近の展開と、それを用いた物質表面のナノスケールの物性評価成果を紹介する。具体的には、まず、表面原子に働く力を検出し、それを原子レベルで画像化できる非接触原子間力顕微鏡法とそれを用いたナノスケールに作用する力学的相互作用の測定例を紹介する。次に、ヘテロダイン検出を用いることにより、表面電位測定の空間分解能と検出感度を飛躍的に向上させたヘテロダイン・ケルビンプローブ力顕微鏡法に関して紹介する。さらに、物質表面に局在する光(近接場光)の強度分布を力として検出するという新しい概念の光学顕微鏡法(光誘起力顕微鏡法)について紹介する。
休憩
調整中
展示企業によるショートプレゼンテーション(4件程度)
ポスターセッション・企業展示
機能を可視化する電子顕微鏡:レーザー光電子顕微鏡(Laser-PEEM)
谷内 敏之 先生(東京大学物性研究所)
概要物質の形状だけでなく物性を可視化するイメージング技術は基礎科学だけでなく産業においてもその重要性は益々高まっている。光電子顕微鏡(PEEM)は励起源として光を用いる電子顕微鏡の一種である。光電効果によって放出された光電子には材料が持つ様々な情報を含んでいる。これらを電子レンズ系で検出することで、材料の構造だけでなく機能に直接関係のある諸物性をナノスケールで観察できる。本講演ではPEEM、特に大強度レーザーを光源にしたレーザーPEEMを紹介し、測定例を示すことで半導体をはじめとした様々な産業への応用可能性を議論する。
休憩
調整中
展示企業によるショートプレゼンテーション(3件程度)
ポスターセッション・企業展示
参加申込
参加を希望される方は、以下の申込フォームよりお申し込みください。 定員に達し次第、受付を終了する場合があります。
アクセス
会場
東京大学 小柴ホール
(東大本郷キャンパス・理学部1号館内)
〒113-0033 東京都文京区本郷7-3-1
キャンパスマップ
交通案内
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