公益社団法人 日本表面真空学会 関東支部
公益社団法人 日本表面真空学会 産学官連携委員会
開催概要
プログラム
発表件数に応じて詳細が変更になる場合があります
力検出に基づくナノスケールの革新的な計測手法の展開
菅原 康弘 先生（大阪大学大学院工学研究科）
概要ナノスケールの計測手法の発展は、物質表面のナノスケールの物性評価と解析に関して重要な知見を提供する。ここでは、ナノスケールの革新的な計測手法の最近の展開と、それを用いた物質表面のナノスケールの物性評価成果を紹介する。具体的には、まず、表面原子に働く力を検出し、それを原子レベルで画像化できる非接触原子間力顕微鏡法とそれを用いたナノスケールに作用する力学的相互作用の測定例を紹介する。次に、ヘテロダイン検出を用いることにより、表面電位測定の空間分解能と検出感度を飛躍的に向上させたヘテロダイン・ケルビンプローブ力顕微鏡法に関して紹介する。さらに、物質表面に局在する光（近接場光）の強度分布を力として検出するという新しい概念の光学顕微鏡法（光誘起力顕微鏡法）について紹介する。
休憩
株式会社東京インスツルメンツ
3D Mechanical Imaging of Surfaces and Interfaces using the Nanofinder Brillouin Microscope / 顕微ブリルアン分光装置「Nanofinder」を用いた表面・界面の3次元力学特性イメージング
株式会社トヤマ
エンドステーションに求められる周辺技術に関して
日本電子株式会社
高速二次電子スペクトルイメージ法を活用した新しい表面評価装置の開発
ポスターセッション・企業展示
機能を可視化する電子顕微鏡：レーザー光電子顕微鏡（Laser-PEEM）
谷内 敏之 先生（東京大学物性研究所）
概要物質の形状だけでなく物性を可視化するイメージング技術は基礎科学だけでなく産業においてもその重要性は益々高まっている。光電子顕微鏡(PEEM)は励起源として光を用いる電子顕微鏡の一種である。光電効果によって放出された光電子には材料が持つ様々な情報を含んでいる。これらを電子レンズ系で検出することで、材料の構造だけでなく機能に直接関係のある諸物性をナノスケールで観察できる。本講演ではPEEM、特に大強度レーザーを光源にしたレーザーPEEMを紹介し、測定例を示すことで半導体をはじめとした様々な産業への応用可能性を議論する。
休憩
株式会社アールデック
k-Space 社製 kSA BadiT による薄膜・結晶成⻑における温度測定の最適化
コーンズテクノロジー株式会社
真空・表面科学を支える先端ソリューション 残留ガス分析（Stanford Rresearch Systems社）／シリコン窒化膜（Silson社）
高い時空間分解能を兼ね備えた発光測定手法：THz-光STM
木村 謙介 先生（理化学研究所）
概要光を用いた通常の分光計測では、回折限界により空間分解能が数百ナノメートル程度に制限されるため、原子・分子スケールで構造と光学特性を結び付けることは容易ではない。一方、走査トンネル顕微鏡(STM)のトンネル電流を励起源に用いると、原子・分子を可視化しながら発光測定を行うことができ、回折限界を超えた空間分解能で局所領域の励起状態を調べられる。しかし、優れた空間分解能をもつ一方で、励起源が定常的に流れるトンネル電流であるため、時間分解能は限られてきた。そこで我々は、テラヘルツ(THz)パルスによってトンネル電流をピコ秒スケールで駆動するTHz-STM技術に着目し、これをSTM発光分光と融合した新たな計測手法の開発に取り組んできた。本講演では、これまでのSTM発光分光（光STM）研究の展開と、我々が最近実現したTHz-光STMについて紹介する。
ポスターセッション・企業展示
参加申込
参加を希望される方は、以下の申込フォームよりお申し込みください。 定員に達し次第、受付を終了する場合があります。
アクセス
会場
東京大学 小柴ホール
（東大本郷キャンパス・理学部1号館内）
〒113-0033 東京都文京区本郷7-3-1
キャンパスマップ
交通案内
- 本郷三丁目駅（地下鉄丸の内線）徒歩10分
- 本郷三丁目駅（地下鉄大江戸線）徒歩10分
- 根津駅（地下鉄千代田線）徒歩10分
- 東大前駅（地下鉄南北線）徒歩6分